
Laboratoire des Techniques de l’Informatique et de la Microélectronique pour l’Architecture des ordinateurs (TIMA)
Le laboratoire TIMA comprend environ 120 personnes. Les recherches concernent la microélectronique dans plusieurs de ses aspects : conception, test, CAO, architecture, vérification de circuits intégrés et systèmes. TIMA héberge également le service Circuits Multi Projets (CMP), un service national pour la fabrication de circuits intégrés pour l’enseignement, la recherche, et l’industrie (environ 3000 circuits prototypés depuis 1981, la technologie la plus avancée offerte est la 0.12 μm de chez ST). Le laboratoire a une grande activité contractuelle orientée vers l’industrie (ST, Aérospatiale, Sodern, Anacad, Schlumberger, Peugeot, Schneider...), une grande activité de recherche coopérative (participation à environ 50 projets de la communauté européenne et à environ 15 projets JESSI/MEDEA).
Laboratoire des Technologies de la Microélectronique (LTM)
Cette unité mixte UJF - INPG - CEA - CNRS (UMR 5179) vient d’être créée et son rattachement à l’école est effectif depuis le début de l’année 2002. Son objectif est la mise au point de technologies nouvelles pour les applications micro et nano. Il comprend 12 chercheurs du CNRS, 9 enseignants chercheurs, 14 personnels techniques et administratifs et 12 doctorants et 12 post-doctorants. Ses thèmes de recherches concernent :
les technologies plasmas (étude des procédés de gravure et dépôt des nouveaux matériaux),
la lithographie extrême ultra-violet EUV (développement d’outils de simulation, étude fondamentale de la physico-chimie des polymères),
les matériaux diélectriques (élaboration, caractérisation et intégration de matériaux diélectriques à forte permitivité pour filières CMOS sub 100 nm),
la lithographie par nano-imprint (élaboration de nano-motifs par pressage d’un moule dans un polymère : réseau de nanostructures sur de grandes surfaces). Le laboratoire dispose d’équipements industriels sophistiqués. Son implantation sur la plate-forme PLATO du Laboratoire d’Électronique de Technologie de l’Information (LETI) du CEA lui assure un environnement exceptionnel en matière d’équipements scientifiques.